Наиболее эффективным методом обработки поверхностей различных материалов является импульсная абляция, благодаря высокой скорости нагрева и охлаждения появляется возможность выполнения обработки материалов на воздухе. Термохимические процессы в паровой фазе при определенных режимах лазерного облучения могут существенно повлиять на результат лазерной абляции.
При получение тонких пленок веществ методом лазерной абляцией, иногда возникают сложности связанные с малым поглощением и отражением лазерного излучения некоторыми материалами. При этом коэффициент полезного использования обрабатываемого материала мишени при лазерном напылении составляет 1 — 2 % .
Успешное развитие получил метод лазерной абляции, при котором анализ производится путём переноса продуктов лазерной абляции в индуктивно-связанную плазму и последующим детектированием свободных ионов в масс-спектрометре. Основными плюсами данного метода являются: высокая скорость осаждения материала; быстрый нагрев и охлаждение осаждаемого материала, обеспечивающее образование метастабильных фаз, непосредственная связь энергетических параметров излучения с кинетикой роста слоя; возможность конгруэнтного испарения многокомпонентных мишеней; строгая дозировка подачи материала, в том числе многокомпонентного с высокой температурой испарения; грегация в кластеры разного размера, заряда и кинетической энергии, позволяющая проводить селекцию с помощью электрического поля для получения определённой структуры, осаждаемой плёнки.